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分析倒角機(jī)磨削過(guò)程

發(fā)布時(shí)間:2022-02-22人氣:75

之所以磨輪對(duì)硅片加工能達(dá)到很好的物理特性, 首先是因?yàn)槟ポ喌哪チ>哂懈咭?guī)格的微刃等高性,其次是其磨削厚度小,除了切削作用外還有整體擠壓、拋光作用;其三是工作臺(tái)x、y向進(jìn)給采用高精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)精密絲杠,磨輪回轉(zhuǎn)精度高,其主軸向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、精度高,能實(shí)現(xiàn)高精度微量進(jìn)給。磨削與其他切削加工過(guò)程相比, 有磨粒刃口鈍、形狀不規(guī)則、分布不均勻等特征,從而導(dǎo)致在磨削過(guò)程中各個(gè)磨粒對(duì)工件的加工方式和效用不同;比較鋒利且突出的磨粒起切削作用,比較鈍且相對(duì)磨削深度較淺的磨粒起刻劃擠壓作用,使工件產(chǎn)生塑性微變,而更鈍的隱藏更低的磨粒和工件緊密粘貼,只存在法向力,起拋光作用,另外,有許多磨粒在整個(gè)加工過(guò)程中包含了切削、刻劃、拋光等多個(gè)工段。

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